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莱宝分子泵MAG2207

莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空，具有操作简单，可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后，可以实现低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。
莱宝真空是世界上涡轮分子泵领导品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功应用于许多场合。在“简介”一节“应用”表格中，列出了最重要的应用领域。

流量

转速;36000rpm

真空度

<10-10mbar

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涡轮分子泵工作原理
涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将最初无方向性的热运动变成有定向运动。涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的压强时，气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以抽气过程非常高效。在粘滞流范围，也就是压强超过10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情况则完全不同，分子间的频繁碰撞降低了转子的效率。因此，涡轮分子泵无法在大气压下工作，需要适当抽速的前级真空泵。为了使气体分子产生定向运动，转子叶片的末端的线速度必须足够大。所以，转子也要有相应的高转速。对于莱宝真空的涡轮分子泵而言，较大直径转子（例如 TURBOVAC 1000 ，大约20cm(7.87in.)）的转速大约为36000rpm，而较小直径转子（例如TURBOVAC50，大约6cm(2.36in.)）的转速为72000rpm。
机械轴承分子泵
无保护气吹扫装置的涡轮分子泵仅适用于空气或惰性气体的抽除，不适用于腐蚀性或反应性气体的抽除。型号名称中有字母“C”的TURBOVAC泵配有吹扫气装置。吹扫气的作用是保TURBOVAC的轴承区域和电机。
典型应用
- 科研
- 粒子加速器
- 质谱仪
- 光学镀膜
- 大面积镀膜
- 数据存储
- UHV系统
- 进片室和转移室
磁悬浮分子泵
典型应用
- 气体分析系统
- 粒子加速器
- 电子显微镜
- 科研
- 镀膜设备
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