分子泵的维护

发布时间:2023-05-30 16:18:14 来源: 优尼捷点击量: 421

1、分子泵不能超出生产商规定的使用环境和使用范围。
2、分子泵的高真空端应做好保护措施避免运转时暴露大气而导致泵直接损坏。
3、分子泵的前级（低真空端）压力超过生产商指定的最大压力将导致泵的过热，会导致轴承受损，情况严重的甚至会导致彻底失效。
4、避免分子泵的进气口和出气口都是“死连接”，如果前级管道为固定连接，则泵壳受热后无法膨胀，导致不当的材料应力，在该固定连接中，转子无法自由移动，且遗留下来的细微不平衡随着时间的推移会造成轴承故障，并会导致转子受损。
5、当无法避免颗粒物穿过分子泵的进气口防护罩而掉入分子泵内时，需选择倒置安装或其它角度安装。对于有形成沉积物趋向的工艺，如在 CVD（化学气相沉积）中，涂层工艺将在转子和壳体部件上持续进行，这将会引发不平衡和震动，致使转子破碎，在此类工艺中，应采取屏蔽措施。
6、当烘烤泵时，务必遵守生产商规定的最大烘烤温度要求。温度高时，需要对泵进行冷却。
7、磁场会对运行中的分子泵的转子产生涡电流，这会加热转子并使其迅速过热，如果这些值过高，则必须对泵进行屏蔽。如果已知磁场的分布情况，则必须对其进行重新部署。
8、在存在不同强度和持续时间的中子和伽马辐射的情况时，这种辐射破坏安装在泵上的电子驱动器和变频器，在这种情况下，必须使用连接电缆将电子驱动器安装在远离辐射的安全距离上。
9、按照生产商的规定对分子泵做好维护保养。
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