莱宝干式螺杆真空泵吹扫气维修

发布时间:2021-07-18 14:51:13 来源: 优尼捷 点击量: 1085
  • 莱宝干式螺杆泵吹扫气体要求以及停机前后维护。

  • SV40:排气侧密封吹扫阀
  • 常开,不会影响极限真空与抽速,
  • 要求:停泵15-30分钟后再关闭SV40;
  • SV41:汽镇吹扫阀(转子吹扫)
  • 用来稀释气体,以防止凝结、干燥泵体、降低化学反应、稀释气体到燃点以下。
  • 要求:对于有可凝性气体(如水蒸汽)的应用,需开启SV41,防止气体泵内凝结;
  • SV42:进气侧密封吹扫阀
  • 要求:在制程气体或固体有可能进入齿轮箱的情况下,必需开启SV42,以保护泵。
  • 氮气吹扫压力:
  • 气源:4-8 bar
  • 减压后:3.0 bar
  • 低压报警:< 2.4 bar
  • 1)工作状态,当极限真空满足工艺要求的前提下,对泵最好的保护方式:保持SV40,SV41,SV42常开;若极限真空无法满足需求,可在抽气阀打开30秒后将SV42关闭,SV41/SV40保持打开;
  • 2)泵在待机状态下,保持SV40,SV41,SV42常开,清除泵内工艺物质和水汽;
  • 3)制程结束停泵前,关闭抽气阀,保持SV40、SV41与SV42打开下泵运行30分钟再停泵,以清除泵内残留的制程物质和水汽,以防止泵因为转子生锈和卡死。
  • 4)停泵后,向泵腔内充注氮气封存。
  • 1850年,LEYBOLD莱宝真空公司在德国科隆成立。自公司成立以来,莱宝一直走在世界真空技术发展的前端。目前,莱宝公司是世界上著名的真空设备供应商之一。LEYBOLD在世界上四个国家设有工厂,每家工厂各自生产不同系列的真空元部件。其中有位于:德国的科隆,公司总部所在地。几乎生产所有系列的产品;美国的宾西法尼亚州,专门生产应用于半导体行业的干泵、低温泵等;法国的瓦郎斯,专门生产SOGEVAC系列单级旋片泵;河南洛阳,江苏,山东济南等地具有压缩机和干式螺杆真空泵维修车间,共有三个备品备件仓库。Leybold莱宝为客户供应干式真空泵,氮气压缩机,六氟化硫(sf6)压缩机,氦气压缩机,高压机,莱宝真空泵,莱宝检漏仪,莱宝真空泵油等工业设备,同时提供莱宝真空泵维修、配件等业务。